Звягинцева, А. В. ., Долженков, С. В. ., & Кульнева, В. В. . (2026). ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ИЗ ОКСИДОВ МЕТАЛЛОВ. Прогрессивные технологии и системы машиностроения, (4 (91), 20–25. извлечено от https://ptsmdonntu.ru/article/view/787